반도체 생산용 특수 소재 및 재료 패키징 전문 업체인 ATMI, Inc.은 세미콘코리아(SEMICON Korea) 전시회에서 혁신적인 패키징 기술에 관한 최신 뉴스 및 기술을 발표할 것이라고 밝혔다.

ATMI는 우수한 안정성과 성능을 자랑하는 가스 시스템 기술 및 최첨단 패키징 기술을 다음과 같이 선보인다는 계획이다.

SDS?가스 저장 및 전달 시스템
SDS 가스 실린더 시스템은 반도체의 이온 주입공정에서대기압 보다 낮은 압력으로유해가스를 탄소 흡착제 재료를 통해 저장하고 전달한다. SDS는 이러한 유해가스를 저장하고 전달하는 방법을 통해 반도체 제조업체들은 더욱 안전하고 더욱 효율적이면서 더 적은 비용으로 작업을 실현할 수 있다고 회사측은 설명했다. 몇 년 동안 한국메티슨특수가스(Matheson Tri-Gas)사가 ATMI의 SDS 제품의 판매 및 유통을 담당 했었으나 지난해 3월부터 모든 ATMI 제품들은 ATMI의 SDS 다이렉트 프로그램을 통해서 ATMI에서 전량 판매 및 유통되고 있다.

BrightPak? 패키징 기술
BrightPak 보틀(Bottle)은 핵심적인 케미컬 저장 및 공급의 최신 기술을 대표하는 새로운 패키징 솔루션이다. 이 솔루션은 마이크로일렉트로닉스 산업의 포토 리소그래피 애플리케이션에서 사용되는 기존 유리병과 비교해 월등한 성능 개선의 특징을 제공한다. 충격에 파괴되지 않는 BrightPak 보틀은 더 안전하면서 다루기 쉬우며 더욱 깨끗한 사용환경을 가능하게 하고 최대 99.9 %까지 재료를 활용할 수 있는 우수한 성능을 제공한다고 회사측은 설명했다.

지난해 10 월, ATMI는 경기도 장안에 새로운 최첨단 제조 공장 신축 기공식을 가졌다. 장안 공장에서 SDS 가스 실린더 시스템을 포함한 반도체 생산업체들을 위해 여러 가지 제품을 생산할 예정이다. 최근 ATMI는 수원의 나노소자특화팹센터(KANC)에 고생산성 개발센터(High Productivity Development Center)를 구축하여 재료 연구 및 개발하고 있는 등 지속적인 한국활동을 전개할 예정이다. ATMI는 대만에 1개, 미국에 2개, 총 세 곳의 개발 센터를 운영하고 있다.

ATMI의 부사장겸 아시아지역 총괄 대표인 원철우(Cheoroo Won) 대표는 지난 해 10월 보도자료를 통해 "우리는 아시아에서 중요한 사업 기회를 발굴하였다. 이에 따라 한국에 새롭게 건립되는 공장 시설과생산력은 아시아 지역에서 ATMI의 역할과 입지를 강화할 수 있는 발판이 될 것이다. 이를 통해 고객들과 더욱 긴밀하고 효율적으로 협력할 수 있는 방법을 지원할 수 있게 되었다라고 말했다.

ATMI의 부사장겸 아시아지역 총괄 대표인 원철우(Cheoroo Won) 대표는 지난해 10월 보도자료를 통해 "우리는 아시아에서 중요한 사업 기회를 발굴하였다. 이에 따라 한국에 새롭게 건립되는 공장 시설과 생산력은 아시아 지역에서 ATMI의 역할과 입지를 강화할 수 있는 발판이 될 것이다. 이를 통해 고객들과 더욱 긴밀하고 효율적으로 협력할 수 있는 방법을 지원할 수 있게 되었다"라고 말한 바 있다.

한편, 세미콘코리아 전시회(www.semiconkorea.org/)는 1월 30일부터 2월 1일까지 서울 코엑스에서 개최되며, ATMI에 대한 자세한 사항은 www.atmi.com/korea를 통해 확인할 수 있다.

김원영 기자 goora@noteforum.co.kr

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